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真空排氣工藝概述

來源：成都新德南光機械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時間：2014-07-20 |

獲得真空，靠真空系統(tǒng)的抽氣來完成。根據(jù)所要求的真空度和清潔度，采用不同的真空系統(tǒng)。一般真空系統(tǒng)按真空區(qū)域可分為：中、低真空系統(tǒng)，高真空系統(tǒng)，超高、極高真空系統(tǒng)。它們由不同的主泵、輔助系及其它相應(yīng)的真空零(部)件組成。中、低真空系統(tǒng)由機械泵或機械泵加羅茨泵組成，為防止油污染，還可加入分子篩阱，但在操作時要防止分子篩固體顆粒吸入機械泵中。高真空系統(tǒng)主要由擴散泵、障板、冷阱、插板閥和機械泵等組成，主泵也可用渦輪分子泵或低溫泵。為進一步減少油污染，可用濺射離子泵與鈦升華泵和低溫障板一起構(gòu)成一臺無油高真空抽氣機組，其前級用吸附泵粗抽。超高和極高真空系統(tǒng)最重要的標志是清潔度高，只要采用高性能的離子泵、低溫泵、渦輪分子泵和冷阱等，就可實現(xiàn)超高和極高真空。
　　
　　各種真空系統(tǒng)的啟動、停機、操作過程及產(chǎn)生故障時對污染的防護都有嚴格要求，必須遵守操作規(guī)程。比如，機械泵只能抽15Pa—20Pa或更高的壓力，否則反流污染嚴重；擴散泵在正常工作前和停泵20min內(nèi)油蒸氣污染很大，故不得與真空室或冷阱相通；停機時冷阱要在與真空室隔離、排除液氮并回溫后方可停止高真空泵；吸附泵應(yīng)有防壓力爆破裝置，以防回溫后產(chǎn)生事故；要防止分子篩吸附阱中的分子篩及其固體粉末吸入機械泵。
　　
　　如果真空抽不上去或達不到要求，首先要檢查抽氣裝置工作是否正常，其次檢查是否存在不允許的放氣源。真空零(部)件在裝配之前，必須經(jīng)嚴格的清潔處理、烘干并檢漏，合格后方可使用。還應(yīng)檢查可拆卸部位密封圈是否清潔、良好，密封面是否有劃傷，連接是否緊密等。下面以多層絕熱低溫容器的抽氣技術(shù)為例，介紹低溫容器的真空排氣工藝。
　　高真空多層絕熱又稱超絕熱。它在高真空容器中由多層的高反射率的箔(鋁箔或鍍鋁滌綸薄膜)作反射屏與多層的導(dǎo)熱系數(shù)低的材料(玻璃纖維制作的布或紙及尼龍網(wǎng)等)作隔熱物相互疊扎而成。到目前為止，它仍然具有表觀導(dǎo)熱系數(shù)最低、絕熱效果最好及質(zhì)量輕、所占體積小等優(yōu)點。這種絕熱在各種低溫恒溫器、低溫貯槽、低溫輸送管道、空間飛行器、致冷器以及導(dǎo)電機和超導(dǎo)電纜等方面獲得越來越廣泛的應(yīng)用。
　　
　　鄉(xiāng)層絕熱的最低表觀導(dǎo)熱系數(shù)，只有在絕熱層中消除了氣體分子傳熱的情況下才能達到。
　　
　　在絕熱層內(nèi)壓力已小于10-2Pa時，再進一步降低壓力對表觀導(dǎo)熱系數(shù)沒有明顯影響，因此它要求的工作真空度是10-zPa—l0_ ；
3Pa。
　　
　　在多層絕熱的液氦、液氫、液氧、液氮等低溫容器中，要在5年甚至10年的使用期間始終維持10-2Pa—l0-3Pa的高真空，就必須進行徹底抽氣和采用吸氣性能良好的低溫吸附劑(分子篩、活性炭)等一系列技術(shù)措施。
　　
　　為了克服多層絕熱存在的工藝復(fù)雜、成本高、制作周期長和工程表觀導(dǎo)熱系數(shù)較高等缺點，必須開展有關(guān)多層絕熱排氣工藝、層間壓力分布、吸附劑活化工藝和吸附劑吸氣性能測試等研究工作。